簡易探針臺光電測試

產(chǎn)品優(yōu)勢

1.滿足I-V/C-V，PIV測試，光電測試等

2.可用于6英寸以內(nèi)樣品測試

3.同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu)，終線性移動

4.可放置于手套箱內(nèi)使用

參數(shù)規(guī)格

型號：Huace-M4  Huace-M6

臺體

尺寸：4英寸  6英寸

水平旋轉(zhuǎn)：可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置

X-Y移動行程：2英寸*3英寸

X-Y移動精度：10μm

樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺：左右各一個針座平臺，至多可放置6個探針座

背電極測試：樣品臺電學(xué)獨立懸空，4mm插孔可接背電極

顯微鏡

顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡

放大倍率：16X - 200X

移動行程：水平方向繞立柱360°旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm

光源：外置LED無級調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源

CCD：200萬像素/ 500萬像素/ 1200萬像素

探針座

X-Y-Z移動行程：12mm*12mm*12mm

移動精度：10μm / 2μm / 0.7μm / 0.5μm

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

探針夾具

線纜：同軸線/三軸線

漏電精度：10pA / 100fA / 10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC /三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

探針

針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm / 20μm

材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅

外形尺寸：400mm長*380mm寬*500mm高

重量：約20kg

可選附件（根據(jù)客戶要求定制）：

加熱臺

顯示器

轉(zhuǎn)接頭

射頻測試配件

屏蔽箱

光學(xué)平臺

鍍金卡盤

光電測試配件

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體器件研發(fā)

光電子與顯示技術(shù)

工業(yè)與工程應(yīng)用