高低溫真空探針臺

產品優勢

真空-溫度協同控制

真空系統：分子泵+渦旋泵多級抽氣，30分鐘內實現10^-6 torr級真空度，支持惰性氣體氛圍切換；

超寬溫域：液氮制冷與電極加熱復合控溫，控溫穩定性±0.1K。

測量能力

抗干擾設計：真空屏蔽腔體降低電磁噪聲，支持pA級微弱電流與μΩ級電阻測量；

多通道拓展：標配4探針臂（可擴展至6探針臂），支持四線法、射頻探針、光電協同測試。

產品參數

腔體

樣品臺尺寸：2英寸  4英寸

樣品固定：彈簧壓片

觀察窗口：2英寸  4英寸

真空度：10-6 torr

探針臂接口：至多6個探針臂接口

其它接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式：液氮/液氦  、制冷機

控制方式：開循環手動 、閉循環自動控制

溫度范圍：77K ~ 450K  、4.5K ~ 450K

溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯微鏡

X-Y-Z移動行程：50mm×25mm×13mm

結構：外置探針臂，真空波紋管結構

移動精度：10μm / 1μm

光源：外置LED環形光源/同軸光源

CCD：200萬像素/ 500萬像素/ 1200萬像素

探針座

X-Y-Z移動行程：50mm×25mm×13mm

結構：外置探針臂，真空波紋管結構

移動精度：10μm / 1μm

探針夾具

線纜：同軸線/三軸線/射頻線

漏電精度：10pA / 100fA / 10fA

固定探針：彈簧固定/螺絲固定

接頭類型：BNC /三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口

探針

射頻支持：DC-67GHZ

針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材質：鎢鋼/鈹銅

真空組件 分子泵組/機械泵

冷源組件 50L / 100L液氮罐/液氦罐/制冷機

外形重量 730mm×750mm×1265mm（長寬高） 約100kg

防震桌參數

產品型號：氣浮隔振防震桌

隔振方式：空氣彈簧隔振

固有頻率：1.5Hz-2Hz

支撐腿：氣浮支撐腿

產品型號：阻尼隔振防震桌

隔振方式：復合材料隔振

固有頻率：6Hz-8Hz

支撐腿：阻尼支撐腿

防震桌技術參數

材質：不銹鋼/碳鋼

平面度：0.05mm/m2

粗糙度：＜0.8μm

孔距：25×25mm

孔徑：M6

平臺尺寸（長寬）：可定制

平臺厚度：50/100/200mm

支撐腿數量：4只/6只

支撐腿高度：800mm±10mm

其他：內芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制

應用領域

1.研發階段：材料與器件的極限性能探索

在新型半導體材料（如鈣鈦礦、氧化鎵）的研發中，晶圓測試高低溫真空探針臺可實時監測材料在真空、高溫或低溫條件下的載流子遷移率、擊穿電壓等參數，為材料優化提供數據支撐。

2.失效分析：準確定位缺陷根源

通過微區探針掃描技術，配合SEM或FIB聯用，可對芯片的短路、漏電等故障點進行亞微米級定位，快速鎖定制造工藝中的缺陷環節。

3.量產前驗證：提升良率與可靠性

在晶圓出廠前，晶圓測試高低溫真空探針臺可對成千上萬個微結構進行自動化批量測試（如接觸電阻、絕緣性能），結合AI算法實時分析數據，提前篩除次品，降低下游封測成本。