藍寶石窗口真空探針臺
產品特點
多種接口
探針臂接口:4個探針臂接口；
電學測試接口:3同軸BNC*4、2同軸BNC*2\高壓接口10KV*1；
輔助接口:真空接口、加熱器接口、熱電阻接口、液氮接口、保護氣接口、表面溫度熱電阻接口*2。
外置探針臂：真空波紋管結構
藍寶石材質觀察窗口：藍寶石材質的觀察窗口能夠有效保證紫外光的透光性
多種可搭配儀器：源表、高阻計、直流低電阻測試儀、阻抗分析儀、半導體參數分析儀
參數規格
腔體:高真空腔體
樣品臺尺寸:4英寸
樣品固定:彈簧壓片
觀察窗口:6英寸
觀察窗口材質：藍寶石（保證紫外光的透光性）
真空度:2Pa
探針臂接口:4個探針臂接口
電學測試接口:3同軸BNC*4、2同軸BNC*2\高壓接口10kV*1
輔助接口:真空接口、加熱器接口、熱電阻接口、液氮接口、保護氣接口、表面溫度熱電阻接口*2
制冷方式:液氮
溫度范圍:-196℃~600℃
溫控精度:±0.1℃
穩定性:-196℃-常溫±0.5℃、常溫-600℃±0.2℃
產品尺寸:650mm長*650mm寬*460mm高
重量:約100kg
光學系統
顯微鏡類型:單筒顯微鏡
放大倍率:20X-180X
移動行程: X軸行程100MM Y軸行程50MM Z軸行程50mm
光源:外置LED環形光源
CCD:2800萬像素
顯示器:10寸LED
探針臂
X-Y-Z移動行程:20mm*20mm*20mm
結構:外置探針臂，真空波紋管結構
移動精度:10微米
探針組件
線纜:同軸線
接頭類型:SMA
漏電精度:10fA
固定探針:夾緊固定
頻率支持:DC-67GHZ
針尖直徑:0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
高壓組件
線纜:高壓電纜10kV
接頭類型:香蕉頭
其他組件
真空組件:機械泵
冷源組件:10L液氮罐
應用領域
R-T，C-V，I-V，R-I，Cp-D,ε測試
