光電測試簡易探針臺的參數(shù)與應用

產(chǎn)品簡介

光電測試簡易探針臺由華測儀器生產(chǎn)，主要用于電學性能測試，該探針臺具有操作方便、測試數(shù)據(jù)準的特點，結構緊湊、性價比高、穩(wěn)定性強、具備模塊化和可擴展性，其主要應用于半導體器件研發(fā)、光電子與顯示技術以及工業(yè)與工程應用，在測試實驗、質(zhì)量控制與可靠性的驗證、提供實驗依據(jù)、優(yōu)化成本與節(jié)約資源。

產(chǎn)品優(yōu)勢

1.滿足I-V/C-V，PIV測試，光電測試等

2.可用于6英寸以內(nèi)樣品測試

3.同軸絲杠傳動結構，終線性移動

4.可放置于手套箱內(nèi)使用

5.形狀輕巧，操作方便

產(chǎn)品參數(shù)

型號：Huace-M4  Huace-M6

臺體:

尺寸：4英寸  6英寸

水平旋轉(zhuǎn)：可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置

X-Y 移動行程：2英寸*3英寸

X-Y 移動精度：10μm

樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺：左右各一個針座平臺，至多可放置 6 個探針座

背電極測試：樣品臺電學懸空，4mm 插孔可接背電極

顯微鏡:

顯微鏡類型：單筒顯微鏡 / 體式顯微鏡

放大倍率：16X - 200X

移動行程：水平方向繞立柱360°旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm

光源：外置LED無級調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源

CCD：200 萬像素 / 500 萬像素 / 1200 萬像素

探針座：

X-Y-Z 移動行程：12mm*12mm*12mm

移動精度：10μm / 2μm / 0.7μm / 0.5μm

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

探針夾具：

線纜：同軸線 / 三軸線

漏電精度：10pA / 100fA / 10fA

固定探針：彈簧固定 / 管狀固定

接頭類型：BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾 / 接線端子

探針：

針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm / 20μm

材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅

外形尺寸：400mm長*380mm寬*500mm 高

重量：約20kg

可選附件（根據(jù)客戶要求定制）：

加熱臺

顯示器

轉(zhuǎn)接頭

射頻測試配件

屏蔽箱

光學平臺

鍍金卡盤

光電測試配件

應用領域

半導體器件研發(fā)

光電子與顯示技術

工業(yè)與工程應用